与直流电流-电压(I-V)和电容-电压(C-V)测量一样,超快I-V测量[1]能力对于特征分析实验室中所有负责开发新材料、器件[2]或工艺的所有技术人员正变得越来越必要。进行超快I……
与直流电流-电压(I-V)和电容-电压(C-V)测量一样,超快I-V测量[1]能力对于特征分析实验室中所有负责开发新材料、器件[2]或工艺的所有技术人员正变得越来越必要。进行超快I……
线缆长度补偿是一种经常被忽视的校正技术。它是针对仪器厂商提供的某些特殊线缆进行相位偏移校正的。交流信号沿着线缆传输需要一定的时间,其在测量结果上产生的相位偏移正比于线缆长度和传输延……
线缆长度补偿是一种经常被忽视的校正技术。它是针对仪器厂商提供的某些特殊线缆进行相位偏移校正的。交流信号沿着线缆传输需要一定的时间,其在测量结果上产生的相位偏移正比于线缆长度和传输延……
线缆长度补偿是一种经常被忽视的校正技术。它是针对仪器厂商提供的某些特殊线缆进行相位偏移校正的。交流信号沿着线缆传输需要一定的时间,其在测量结果上产生的相位偏移正比于线缆长度和传输延……
偏移[1]和增益误差[2](如图7所示)是C-V测量中最常见的误差。X轴以对数标度的方式给出了电容的真实值,大小范围从皮法到纳法。Y轴表示系统实际测量的值,包含测量误差。如果测量系……
尽管很多C-V测量技术本身相对简单,但是以一种能够确保测量质量的方式实现C-V测试仪与探针台的连接却不是那么简单。目前探针台使用的机械手和探针卡多种多样,当我们试图在一个探针台上同……
在探讨C-V测试系统的配置方法之前,了解半导体C-V测量技术[1]的局限性是很重要的:
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交流阻抗技术是最常用的电容测量技术[1]。它最适合于一般的低功率门电路,也适用于大多数测试结构和大多数探针。其优势在于所需的设备相对便宜,大多数电子实验室都可以直接找到。但是,它也……