偏移和增益误差（如图7所示）是C-V测量中最常见的误差。X轴以对数标度的方式给出了电容的真实值，大小范围从皮法到纳法。Y轴表示系统实际测量的值，包含测量误差。如果测量系统是理想的，……
将屏蔽层连接在一起
屏蔽层 屏蔽层
晶圆电容
图5. 跳接同轴线屏蔽层示意图
好的C-V测量取决于接地跳线的质量。随着频率的提高，好的接地跳线变得愈发重……
尽管很多C-V测量技术本身相对简单，但是以一种能够确保测量质量的方式实现C-V测试仪与探针台的连接却不是那么简单。目前探针台使用的机械手和探针卡多种多样，当我们试图在一个探针台上同……
在探讨C-V测试系统的配置方法之前，了解半导体C-V测量技术的局限性是很重要的：
· 电容：从<10fF到1微法
· 电阻：从<0.1……
交流阻抗技术是最常用的电容测量技术。它最适合于一般的低功率门电路，也适用于大多数测试结构和大多数探针。其优势在于所需的设备相对便宜，大多数电子实验室都可以直接找到。但是，它也有一些……
在准静态电容测量中，我们通过测量电流和电荷来计算电容值。这种“斜率”方法使用简单，但是它的频率范围有限（1 ～10Hz），因而只能用于一些特殊情况下。
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交流阻抗表，也称为LCR表（电感[L]、电容[C]、电阻[R]），利用一个自动平衡电桥保持电容的检测端交流假接地，从而测量复阻抗。这类电表通常的频率范围为1kHz到10MHz。
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在之前的文章 “半导体C-V测量基本原理”中曾经谈到过，电容-电压测试长期以来被用于判断多种不同器件和结构的各种半导体参数，范围从MOSCAP、MOSFET……
LED生产测试中的常见测量误差源包括引线电阻、漏电流、静电干扰和光干扰，但是结自热是最重要的误差源之一。对结发热最敏感的两种测试是正向电压测试和漏电流测试。当半导体结发热时，电压将……
In multiple device tests, such as those that involve burn-in, multiple parts are measured ……
