4标定测试
在室温条件下，对传感器施加10 V直流电压，进行静态标定，表1给出了1#传感器的典型标定数据，表2给出了2#传感器静态标定数据。
从表1和表2中……
3压力敏感元件装配
传感器压力敏感元件结构如图5所示。采用研磨方法加工出压力敏感元件基座的圆形空腔体，由于圆形空腔体的直径与弹性膜片厚度决定了传感器的量程，因此，在加工过……
2石英力敏谐振器制作
石英力敏谐振器是由2个外侧的支撑梁和2个内侧谐振梁构成，电极分布在谐振梁上，且分布在谐振梁的上下表面与侧面，支撑梁上没有电极。利用铜镀层掩蔽，采用……
1传感器的结构与工作原理
石英谐振式压力传感器主要由压力敏感元件和激振电路组成。传感器的结构如图1所示，包括压力接口、压力敏感元件和壳体等。压力敏感元件是传感器的核心，它……
引 言
谐振式石英晶体压力传感器以其高精度，良好的长期稳定性广泛应用于气压与高度测量、压力自动校准以及精密过程控制等。这种高精度石英晶体压力传感器在结构形式上主要有2……
现有两种输出：一种带过滤，以限制噪声带宽；另一种无过滤，其响应时间小于3μs，用于电流短路或阈值检测。这是一个来自采样保持电路的输出，而各个分立的采样值是未经过滤的。
……
举例来说，可以采用四圈设计如图2所示，Minisens位于PCB的反面，这是一种高绝缘度的结构。另一种增加灵敏度的方法是使用较窄的走线。
图2 四圈走线设计/高绝缘度结构……
Minisens最普通的用法是将其放在一个PCB走线上方，该走线承载着需要测量的电流。为优化变送器的功能，需要在走线的尺寸上应用一些简单的规则。通过改变PCB和走线结构，可以测……
微型化接下来的步骤是将这些余下的磁芯元件集成到ASIC封装中。
Minisens/FHS可将一个待测电流的磁场转换为一个电压输出。这个“初级”电流……
电力电子的发展趋势与其他电子领域的发展趋势没有什么不同——更大规模集成加降低元件数量。但是，由于电力电子系统中存在散热器、磁性元件与线圈等元件，使高水平……
