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【应用指南】用带纳米探针的Agilent B1500A进行失效分析

Agilent B1500A半导体器件分析仪 目前，利用扫描探针显微镜(SPM) 技术的纳米探测已能使用压电致动器达到纳米级 (9-10 nm)的探测水平。这篇应用指南将为您介绍一种新的失效分析技术，这项技术使用一种流行……
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