热扩散

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热扩散技术热扩散技术　　热扩散（Thermal Diffusion）技术：　　热扩散技术又称为高温扩散技术，是微电子工艺中的一种重要掺杂技术。　　杂质原子热扩散的机理：主要有替位式扩散和间隙式扩散两种。杂质通过替位式扩 ……

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