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基于光波干涉的高深宽比刻蚀孔洞深度测量规范与微小深孔3D轮廓表征指南
这份技术指南介绍了中图仪器 SuperView W1 白光干涉仪如何利用光学手段解决半导体制造中的量测难题。由于传统机械探针受限于物理尺寸与几何角度，无法深入狭窄的高深宽比刻蚀孔洞，且易造成材料损伤。该设备通过非接触式光学量测技术……
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