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基于ICP的金属钛深刻蚀

摘要：MEMS应用领域的扩展要求开发硅材料之外其他新型材料的三维微细加工技术．为此，对金属钛这一新型MEMS体材料的三维加工进行了探索．金属钛不仅延展性和导电性好，且断裂韧度高、高低温特性以及生物兼容性好．采用电感耦合等离子体源(……
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