硅*集*成*电*路*工*艺*基*础―【*关*旭*东】北京大学出版社

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很多大学把这本书最为教材使用，比较好的一本书，拼凑的成分很少，比较实用，学工艺的同学们上眼啊!我搜过了，这本书论坛暂时还没有，大家捧个场哦~描述：不仅详细介绍了与硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，而且还着得讲解了这……

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