采用线阵CCD测量扫描镜步进角度的系统设计

采用线阵CCD测量扫描镜步进角度的系统设计

摘　要:介绍了采用线阵CCD测量扫描镜步进角度的方法，并给出了详细的实现方案，包括光学系统设计、硬件电路设计以及CCD数字化信号处理方法。解决了一般情况下无法做到的高精度非接触式动态测量问题，并为系统的工程化打下了坚实的基础。[著……

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