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行波型超声波电机步进闭环控制法研究

摘　要:文章比较了超声波电机常用控制方法的优缺点，简述了超声波电机步进控制原理，研究了超声波电机步进闭环控制法在精密定位中的应用。采取16位绝对值编码器与电机、控制器构成闭环系统，消除开环累计误差，使电机的定位精度保持在了编码器分……
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