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二维激光衍射法在直径测量系统中的应用

一种利用菲涅尔衍射效应精确测量工件直径的方法.该测量系统由处于相互垂直位置的两组激光二极管和线阵CCD组成,利用工件激光衍射图样获取投影边界,以几何方法计算工件直径.本系统以数字信号处理器作为数据处理芯片,用大规模可编程逻辑拓展系……
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