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均匀液滴沉积制造中液滴电量检测系统的设计与实现

摘　要:研究一种基于现场可编程门阵列（field programmable gate array，FPGA）的液滴电量实时检测系统，提出了通过检测液滴产生频率以及液滴流在系统同路产生的电流而计算单个液滴平均电量的方法。利用超高速集……
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