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基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计

摘　要:为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题，以提高产品质量和生产效率，对薄膜厚度在线测量系统进行了研究。基于光学三角法测量原理，以ARM920T为核心处理器、嵌入式Linux为操作系统，构造了系统的软硬件平台，并介绍了系统的硬件……
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