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keithley_fourwireresistivity

本文档中为您介绍了4线电阻率测量基础，包括体电阻率和表面电阻。还将介绍导体电阻率的测量、半导体晶圆的四点共线探测、范德堡测试结构和程序、小功率测量，纳米线电阻率和本征半导体材料测量等应用举例。探讨一些测量方法和误差源，包括测试线和……
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