IC工艺原理

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IC工艺原理第一章外延思考题 1. 外延是在单晶衬底上生长一层单晶膜的技术。 2. 名词解释: 同质结外延：外延层和衬底为同种材料。也称子外延。异质结外延：外延层和衬底是不同的材料。P2 正外延：在低阻衬底……

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