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《扩散工艺》作业

《扩散工艺》作业 第二章《扩散工艺》作业 1、1000℃时在硅片中进行磷的预淀积扩散,直到磷的固溶度极限。扩散时间为 20 分钟。预淀积后,硅片表面被密封并在 1100℃……
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