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CMP 建模的机器学习方法

大多数 IC 制造商使用 CMP 建模来检测潜在弱点，作为其 DFM 流程的一部分。然而，为 FCVD 和 eHARP CMP 工艺构建基于物理特性的模型或简化模型实际上很困难，因为这些工艺包含若干沉积和退火步骤以填充沟槽。实验表……
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